(1) 電場＋電子→高能電子

(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子,受激基團,游離基團) 活性基團     (3) 活性基團＋分子（原子→生成物熱 ）

（4）+熱  活性基團＋活性基團→生成物

    電催化氧化工藝在低溫等離子體、微波放電，放電電極和一個有效的處理達到排放標準，在實際使用中是一個非常復雜的過程。整個過程在一秒鐘內完成。可以從理論模型探討相關機制，通過集中排放的三種方式，氣體分子從低能電子在1 / 1000秒的電離電磁過渡，在充滿氣體分子鍵斷裂，沖擊斷裂后，由于小質量的粒子進一步轉變，氧離子的氫氧根離子在反應器中反應，生成無害無味的CO2、H 2O和其他的化合物。同時因為臭氧反應和紫外輻射，徹底清除各類排氣化合物。過程從以上可以看出，第一電子能量從電場，能量轉移到原子或分子，分子或原子能被激發，而一些分子電離，從而成為活性基團；這些活性基團和分子或原子相互碰撞的活動組和活動組之間后穩定的產品和熱形成。此外，高能電子化學反應變得很快。作為一個高新技術具有巨大的潛在優勢，在環境污染治理領域，已經引起了人們的關注，具有潛在的優勢。因此，目前這種技術是成熟的。

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