激光波長
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632.8nm(He-Ne laser)
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膜層厚度精度
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0.01nm(對于Si 基底上110nm 的SiO2 膜層
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折射率精度
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1x10-4 (對于Si 基底上110nm 的SiO2 膜層
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光學結構
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PSCA
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激光光束直徑
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<1mm
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入射角度
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40°-90°可選,步進5°
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樣品方位調整
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三維平移調節;±6.5mm(X-Y-Z三軸)
二維俯仰調節:±4°
光學自準直系統對準
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樣品臺尺寸
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Φ 170mm
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單次測量時間
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0.2s
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推薦測量范圍
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0-6000nm
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最大外形尺寸(長x寬x高)
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887x332x552mm(入射角為90°時
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儀器重量(凈重)
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25kg
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