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多入射角激光橢偏儀

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品牌: NBET
單價: 5000.00元/臺
起訂: 1 臺
供貨總量: 100 臺
發貨期限: 自買家付款之日起 3 天內發貨
所在地: 北京
有效期至: 長期有效
最后更新: 2016-05-24 12:04
瀏覽次數: 15
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產品詳細說明

多入射角激光橢偏儀

多入射角激光橢偏儀

高端研發領域專用的多入射角激光橢偏儀,采用多項專利技術,儀器硬件和軟件具有多項定制功能設計,適用于光面或絨面納米薄膜測量、塊狀固體參數測量、快速變化的納米薄膜實時測量等不同的應用場合。 產品特點: 1.高精度、高穩定性 2.一體化集成設計 3.測量簡單 4.快速、高精度樣品方位對準 5.多角度測量 6.實時測量 7.豐富的材料庫及物理模型 8.強大的數據分析和管理功能 應用領域: 可應用于納米薄膜的幾乎所有領域,如微電子、半導體、生命科學、電化學、顯示技術、磁介質及金屬處理等。可對納米層構樣品的薄膜厚度和折射率n及消光系數k進行快速、高精度、高準確度的測量,尤其適用于科研和工業產品環境中的新品研發及質量監控,可用于表征單層納米薄膜、多層納米層構模系,以及塊狀材料(基底)。
技術指標:
激光波長
632.8nm(He-Ne laser)
膜層厚度精度
0.01nm(對于Si 基底上110nm 的SiO2 膜層
折射率精度
1x10-4 (對于Si 基底上110nm 的SiO2 膜層
光學結構
PSCA
激光光束直徑
<1mm
入射角度
40°-90°可選,步進5°
樣品方位調整
三維平移調節;±6.5mm(X-Y-Z三軸)
二維俯仰調節:±4°
光學自準直系統對準
樣品臺尺寸
Φ 170mm
單次測量時間
0.2s
推薦測量范圍
0-6000nm
最大外形尺寸(長x寬x高)
887x332x552mm(入射角為90°時
儀器重量(凈重)
25kg

特別提示:本信息由相關企業自行提供,真實性未證實,僅供參考。請謹慎采用,風險自負。
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