中國科學院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組從1984年開始研發電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得“六五”攻關榮譽證書以及“FD-2反應離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。
從2010年開始受到極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）資金支持，研發晶體管射頻電源，2011年研發成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發明展 [詳細介紹]