點(diǎn)擊圖片查看原圖 石墨托盤是一種用于LED外延晶圓制程的石墨承載盤，包括若干個(gè)設(shè)置在承載盤上方的晶圓凹槽，用于置放外延晶圓襯底，所述晶圓凹槽的內(nèi)側(cè)邊緣設(shè)置有一擋板結(jié)構(gòu)，且所述擋板與晶圓襯底成互補(bǔ)關(guān)系，二者以擋板、晶圓襯底的平邊為重合邊構(gòu)成大致圓形，所述擋板結(jié)構(gòu)能夠減少在外延生長(zhǎng)過(guò)程晶圓凹槽中的晶圓襯底平邊空隙位置，保證晶圓襯底平邊溫度和氣流穩(wěn)定，從而提高外延晶圓襯底的邊緣良率
上海弘竣實(shí)業(yè)有限公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體外延片生長(zhǎng)的CVD石墨托盤采用德國(guó)進(jìn)口石墨,具有更好的穩(wěn)定性、更長(zhǎng)的使用壽命。還可根據(jù)客戶的要求定制。更好的為半導(dǎo)體廠商服務(wù)技術(shù)
1)用于LED外延片加工石墨頂板;
2)擋板結(jié)構(gòu)內(nèi)部晶片邊緣休息;
3)擋板與晶片襯底到兩個(gè)層次之間的互補(bǔ)關(guān)系;
4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構(gòu)成充分循環(huán)。
功能
1)較低的熱膨脹系數(shù)
2)thermak導(dǎo)電性更好
3)穩(wěn)定的化學(xué)perfermance
4)更好的耐蝕性
5)較強(qiáng)的導(dǎo)電性
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