1.1為確保上海弘竣實(shí)業(yè)有限公司生產(chǎn)的石墨舟質(zhì)量符合客戶要求，特制定此檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。
1.2用以規(guī)范和統(tǒng)一PECVD石墨舟及其附屬配件物料檢驗(yàn)方案，內(nèi)容及判定標(biāo)準(zhǔn)。
2.0、職責(zé)及權(quán)限:
2.1 本標(biāo)準(zhǔn)必須由培訓(xùn)合格之人員執(zhí)行；
2.2 檢驗(yàn)中如有疑問及爭執(zhí)，以品質(zhì)主管最終判定為準(zhǔn)；
2.3 如有本標(biāo)準(zhǔn)未涉及的項(xiàng)目及書面文字無法描述者，以品質(zhì)主管最終判定為準(zhǔn)；
2.4 當(dāng)本標(biāo)準(zhǔn)與客戶標(biāo)準(zhǔn)相沖突時(shí)優(yōu)先采用客戶標(biāo)準(zhǔn)。
3.0、CT 156-21片石墨舟檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)主要有以下12個要點(diǎn)：
1、舟片厚度要求2.5±0.02mm，表面不應(yīng)有劃痕、擦傷等損傷零件表面的缺陷。
2、石墨配件裝配面平行度控制在0.02mm，比如石墨塊厚度24.5±0.02mm。
3、陶瓷管高度11±0.01mm，配面平行度控制在0.01mm。
4、陶瓷螺桿、石墨螺桿的直線度保證在0.1mm。螺紋部分需用螺紋規(guī)檢測。
5、工藝卡點(diǎn)頭部不得有毛刺，工藝卡點(diǎn)尺寸與舟片孔過盈配合，不得脫落，工藝卡點(diǎn)兩頭與舟片對稱。
6、螺帽、螺母螺紋部分不得有崩角。
7、各部件在裝配前必須清理和清洗干凈，不得有毛刺、油污、和灰塵等。
8、裝配前應(yīng)對零、部件的主要配合尺寸，及相關(guān)精度進(jìn)行復(fù)查。
9、裝配時(shí)所有配件必須按圖紙進(jìn)行裝配，各個配件不得隨意更換。
10、螺桿、 螺帽和螺母緊固時(shí)， 嚴(yán)禁打擊或使用不合適的旋具和扳手。必須采用力矩扳手，并按規(guī)定的擰緊力矩緊固。緊固后螺桿、螺母頭部不得損壞。
11、整舟尺寸，長度1370±0.3mm寬度（到舟片）272.5±0.2mm 高度261.8±0.5mm，內(nèi)腿間距167.5±0.2mm，電極孔高度方向間距90±0.2mm，寬度方向9±0.2mm。
12、整舟裝配完畢后，須檢查各配件是否裝配到位，配件和舟耳不得有臺階。