 產品分類聯系方式
- 聯系人：秦威
- 電話：18500193075
- 郵件：rfpower888@163.com
友情鏈接 |
|
中國科學院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組從1984年開始研發電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得“六五”攻關榮譽證書以及“FD-2反應離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。
從2010年開始受到極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）資金支持，研發晶體管射頻電源，2011年研發成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發明展 |
| 公司名稱： |
中國科學院微電子研究所 |
公司類型： |
事業單位或社會團體 (制造商) |
| 所 在 地： |
北京 |
公司規模： |
1-49人 |
| 注冊資本： |
100萬人民幣 |
注冊年份： |
1986 |
| 資料認證： |
|
| 保 證 金： |
已繳納 0.00 元 |
| 經營模式： |
制造商 |
| 經營范圍： |
固態射頻電源,射頻電源,自動匹配器,手動匹配器,電子管射頻電源 |
| 銷售的產品： |
固態射頻電源,射頻電源,自動匹配器,手動匹配器,電子管射頻電源 |
| 主營行業： |
|
|
